AKT
提供優良真空相關維修和保養方案處理,精準評估受損狀況任何可能損壞因素,取得最適當、高效率、低成本。我們針對各廠牌真空閥開發測試治具及軟體開發,並為各種真空閥件建立標準的維修作業程序及品管系統,保證客戶讓真空閥件能夠在最佳狀態下正常運作並回復效能。
■ 真空環境可維修應用於基本製程
薄膜(Thin Film) 化學氣相沉積CVD 金屬濺鍍PVD 擴散Diffusion 黃光(PHOTO) 光罩MASK 光阻Coater 曝光Exposure 顯影Deveiopment 蝕刻(ETCH) 濕蝕刻 Wet-ETCH 乾蝕刻DRY-ETCH
光阻去除(PR remove) 圖形PATTERN

MDC Precision Parts for Industrial Vacuums ACT/BONN ASSY AV7IV 3.0 AV103-P

Swagelok Diaphragm Sealed Valve, 1/2 in Part #: 6LV-DFFR8-P-C Swagelok Diaphragm Sealed Valve, 1/4 in Part #: 6LV-DFHFR4-P-C

INFICON AG,FL9496 Balzers Typ:VAP160-A / INFICON AG,FL9496 Balzers Typ:VAP063-A

Fujikin Diapheragm valve -01

Fujikin Diapheragm valve -02

Fujikin Diapheragm valve -03

Fujikin Diapheragm valve -04

Fujikin Diapheragm valve -05

Fujikin Diapheragm valve -06

Fujikin Diapheragm valve -07

COMDACT CD2851 CULINDER

MKS 653B 排氣節流閥 Model 653B-13071


