提供優良真空相關維修和保養方案處理，精準評估受損狀況任何可能損壞因素，取得最適當、高效率、低成本。我們針對各廠牌真空閥開發測試治具及軟體開發，並為各種真空閥件建立標準的維修作業程序及品管系統，保證客戶讓真空閥件能夠在最佳狀態下正常運作並回復效能。

■ 真空環境可維修應用於基本製程

薄膜(Thin Film)    化學氣相沉積CVD    金屬濺鍍PVD    擴散Diffusion                                                黃光(PHOTO)       光罩MASK     光阻Coater     曝光Exposure           顯影Deveiopment                      蝕刻(ETCH)           濕蝕刻 Wet-ETCH    乾蝕刻DRY-ETCH

光阻去除(PR remove)  圖形PATTERN